发明专利已授权

一种HoSrMnNi共掺铁酸铋超晶格薄膜及其制备方法

📄 申请号：CN201710254320.3 📄 发布日：2026/05/22

著录项目信息

申请日

2017-04-18

申请人

陕西科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C03C17_25

IPC 分类号

技术画像

所属领域

铁电材料铁电材料薄膜材料材料掺杂改性

应用场景

铁电存储器, 传感器, 光电器件, 微电子器件

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摘要

本发明提供了一种HoSrMnNi共掺铁酸铋超晶格薄膜及其制备方法，用晶体结构为三方结构，空间群为R3c:H和R3m:R共存的不同元素掺杂的铁酸铋薄膜制备出Bi0.89Ho0.08Sr0.03Fe0.96Mn0.03Ni0.01O3/Bi0.89Ho0.08Sr0.03Fe0.95Mn0.03Ni0.02O3超晶格薄膜，即HoSrMnNi共掺铁酸铋超晶格薄膜。本发明采用溶胶凝胶工艺，并采用旋涂和层层退火法，设备要求简单，适宜在大的表面和形状不规则的表面上制备薄膜，且化学组分精确可控，可改善BiFeO3薄膜的多铁性能。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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