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利用牵引式氮等离子体增强反应气氛环境制备Ti-Al-N 硬质薄膜的方法

Name: 利用牵引式氮等离子体增强反应气氛环境制备Ti-Al-N 硬质薄膜的方法
Brand: 淮阴师范学院
SKU: 2019108045681
Availability: InStock

📄 申请号：CN201910804568.1 📄 发布日：2026/01/22

著录项目信息

申请日

2019-08-28

公开号

CN110629174B

公开日

2021-03-02

申请人

淮阴师范学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35 , C23C14_46 , C23C14_06 , C23C14_02 ,

技术画像

所属领域

硬质薄膜硬质薄膜等离子体增强沉积氮化物涂层

应用场景

切削刀具, 模具涂层, 耐磨零部件, 机械加工, 表面防护

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摘要

本发明公开了利用牵引式氮等离子体增强反应气氛环境制备Ti‑Al‑N硬质薄膜的方法，包括：步骤一、衬底清洗；步骤二、选取并放置Ti/Al合金靶；步骤三、利用Ar离子直流溅射沉积Ti‑Al合金层作为Ti‑Al‑N薄膜与衬底间的缓冲层；步骤四、将高纯氮气通入射频感应耦合离子源中，在射频感应耦合的作用下，氮气分子发生电离形成氮等离子体，在射频源端口处的加速/减速电栅的牵引作用下形成致密的氮等离子束注入到溅射腔室中；步骤五、引入的氮等离子参与直流溅射沉积制备Ti‑Al‑N硬质薄膜。利用牵引注入的氮等离子体与直流溅射法相结合的方法，在电场和磁场的牵引作用下，实现了对溅射腔室内等离子体反应气氛的增强与调控，制备具有高硬度、低摩擦系数的Ti‑Al‑N超硬薄膜。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN110629174B

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当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20210302

✅ 授权

20200124

?? 实质审查的生效：

20191231

📄 公开

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议价

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