发明专利已授权

利用牵引式氮等离子体增强反应气氛环境制备Ti-Al-N 硬质薄膜的方法

📄 申请号：CN201910804568.1 📄 发布日：2026/01/22

著录项目信息

申请日

2019-08-28

公开号

CN110629174B

公开日

2021-03-02

申请人

淮阴师范学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35 , C23C14_46 , C23C14_06 , C23C14_02 ,

技术画像

所属领域

硬质薄膜硬质薄膜等离子体增强沉积氮化物涂层

应用场景

切削刀具, 模具涂层, 耐磨零部件, 机械加工, 表面防护

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明公开了利用牵引式氮等离子体增强反应气氛环境制备Ti‑Al‑N硬质薄膜的方法，包括：步骤一、衬底清洗；步骤二、选取并放置Ti/Al合金靶；步骤三、利用Ar离子直流溅射沉积Ti‑Al合金层作为Ti‑Al‑N薄膜与衬底间的缓冲层；步骤四、将高纯氮气通入射频感应耦合离子源中，在射频感应耦合的作用下，氮气分子发生电离形成氮等离子体，在射频源端口处的加速/减速电栅的牵引作用下形成致密的氮等离子束注入到溅射腔室中；步骤五、引入的氮等离子参与直流溅射沉积制备Ti‑Al‑N硬质薄膜。利用牵引注入的氮等离子体与直流溅射法相结合的方法，在电场和磁场的牵引作用下，实现了对溅射腔室内等离子体反应气氛的增强与调控，制备具有高硬度、低摩擦系数的Ti‑Al‑N超硬薄膜。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20210302

✅ 授权

20200124

?? 实质审查的生效：

20191231

📄 公开

一种处理蓝藻的复合生态处理剂及其制备方法和应用

当前第 / 件

一种用于车站通信的故障排查系统

同领域国内专利 · IPC: (C23C14_35)

C23C14_00 C23C14_02 C23C14_04 C23C14_06 C23C14_08 C23C14_14 C23C14_16 C23C14_18 C23C14_20 C23C14_22 C23C14_24 C23C14_26 C23C14_28 C23C14_30 C23C14_32 C23C14_34 C23C14_35 C23C14_46 C23C14_48 C23C14_50 C23C14_52 C23C14_54 C23C14_56 C23C14_58 覆盖24个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：60 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)

利用牵引式氮等离子体增强反应气氛环境制备Ti-Al-N 硬质薄膜的方法

著录项目信息

技术画像

所属领域

应用场景

摘要

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (C23C14_35)

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

一种真空镀膜镀件除尘装置

一种真空镀膜装置

一种真空镀膜工件自动清洗装置

服务项目

资源中心

关于柿子坊