基于TSV垂直开关的惠斯通电桥可变电感器

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摘     要：本发明公开了一种基于TSV垂直开关的惠斯通电桥可变电感器，包括顶部介质层a、中间硅衬底层和底部介质层b，硅衬底层中央设置有TSV垂直开关，TSV垂直开关具有漏极、栅极和源极，通过给栅极‑源极和漏极‑源极加不同的电压，可控制TSV垂直开关的通断，TSV垂直开关相对两侧的硅衬底层上分别设置有两排交错的硅通孔阵列，四排硅通孔通过金属线交替连接形成惠斯通电桥的四个桥臂，分别为电感L1、电感L2、电感L3和电感L4，电感L2和电感L3的一侧通过顶部金属线h相连通，电感L2和电感L3的另一侧通过顶部金属线i相连通，金属线h上引出有电感器输入端，金属线i上引出有电感器输出端。

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2021/06/15	授权
  2019/11/12	实质审查的生效	IPC(主分类): H01L 23/522 专利申请号: 201910574745.1 申请日: 2019.06.28
  2019/10/18	公开