发明专利已授权

一种优化载流子传导层电荷分离效率的方法

📄 申请号：CN201910612490.3 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2019-07-09

公开号

CN110359022A

公开日

2019-10-22

申请人

淮阴工学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35 , C23C14_58 , C23C14_08 , C23C14_06 ,

技术画像

所属领域

光电材料光电材料载流子传输层界面修饰

应用场景

太阳能电池, 光伏发电, 光电探测器, 光电催化, 半导体光电器件

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摘要

本发明公开了一种优化载流子传导层电荷分离效率的方法，包括以下步骤：S1.用清洗剂超声清洗基材，清洗后干燥得透明导电衬底；S2.将S1中透明导电衬底送入沉积室中，通入比例为1:6的氧气与氩气，控制总压强为1Pa，靶材与透明导电衬底的距离为8cm，沉积载流子传输层，沉积时间15min；沉积完成之后将样品托盘送入刻蚀室，将采用直流等离子刻蚀透明导电衬底。与现有技术相比，工艺方面更加简单，同时能够与磁控溅射结合连续制备，不需要增加过多的成本，经济上可行；性能方面，界面处面积增加即可以提供更多的载流子分离与传输通道，抑制界面处的电子‑空穴对复合，从而提升样品的光电化学性能。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20201027

✅ 授权

20191115

?? 实质审查的生效：

20191022

📄 公开

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¥26000.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：18 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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