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一种三维体声波谐振器电路电-力-热耦合特性分析方法

Name: 一种三维体声波谐振器电路电-力-热耦合特性分析方法
Brand: 安徽大学
SKU: 2023116863984
Availability: InStock

📄 申请号：CN202311686398.4 📄 发布日：2026/10/12

著录项目信息

申请日

2023-12-11

公开号

CN117634418B

公开日

2024-07-30

申请人

安徽大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G06F30_398

IPC 分类号

G06F30_398 , G06T17_20 , G06F119_08 , G06F119_14 ,

技术画像

所属领域

体声波谐振器体声波谐振器多物理场耦合仿真微机电系统

应用场景

射频前端, 无线通信, 5G通信设备, 滤波器设计, 半导体器件仿真分析

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摘要

本发明公开了一种三维体声波谐振器电路电‑力‑热耦合特性分析方法，涉及微电子技术领域，该方法包括：建立三维薄膜体声波谐振器的几何模型，并对几何模型进行参数设置,设置几何模型的边界条件并进行六面体网格剖分，得到划分的元胞结构；构建电‑力‑热耦合方程，电‑力‑热耦合方程包括压电本构方程、静电场方程、力学运动方程、传热方程，力学运动方程为考虑阻尼项更新原运动方程得到的；利用FDTD算法对电‑力‑热耦合方程进行求解，得到电‑力‑热耦合方程中的各项物理参数。本发明考虑压电材料的机械阻尼，对力学运动方程和压电本构方程进行细化，建立了三维立体网格，结合FDTD算法，实现了三维体声波谐振器电‑力‑热耦合特性的高效分析。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN117634418B

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该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：6 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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