本发明涉及一种横向激发体声波谐振器,其包括衬底以及设置于所述衬底上的第一压电层,所述第一压电层上连接有多个金属电极,相邻的所述金属电极之间设有第二压电层,所述第一压电层上设有多个凹槽,所述第二压电层位于所述凹槽内,所述第二压电层的表面与所述第一压电层的表面齐平,所述第二压电层的介电常数小于所述第一压电层的介电常数。本发明通过改变压电层的介电常数,扩大谐振器机电耦合系数的范围,从而提高器件性能,满足目前超宽带滤波器的需求。
📄 2023101682149
📂 H03H9_02
👤 江南大学
📅 2023-02-27