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实用新型
已授权
一种太阳能硅片真空镀膜载板
📄 申请号:CN202422922712.0
📄 发布日:2026/08/11
著录项目信息
申请日
2024-11-28
公开号
CN223509950U
公开日
2025-11-04
申请人
厦门市俊亦精密机械有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
C23C14_50
IPC 分类号
C23C14_50
技术画像
所属领域
真空镀膜
真空镀膜
载板结构
工装夹具
应用场景
太阳能电池制造, 光伏设备, 硅片镀膜, 真空镀膜工艺, 薄膜沉积工艺
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摘要
本实用新型公开了一种太阳能硅片真空镀膜载板,涉及太阳能硅片镀膜加工技术领域,该太阳能硅片真空镀膜载板,包括载板本体;还包括:空腔,其一体成型设置在载板本体的表面,空腔连通载板本体的上下两端,且空腔设置有若干并呈矩阵排列均匀分布在载板本体的表面,所述载板本体的表面设置有活动槽,活动槽位于内腔的一端,安装板通过连接座与转动杆进行卡合连接,使得可以通过转动拨盘带动转动杆进行旋转,使安装板从空腔内部掀起,从而可以方便将太阳能硅片从安装板的内部取出,并且转动杆能够一次性将横向一排的安装板一同掀起,从而提高效率和方便拿取。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
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委托待转让
📌 交易状态:
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