实用新型已授权

一种低导磁率的实用型镍靶材

📄 申请号：CN202123074886.9 📄 发布日：2026/08/11

著录项目信息

申请日

2021-12-09

公开号

CN217628591U

公开日

2022-10-21

申请人

上海博译金属有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35 , C23C14_14 ,

技术画像

所属领域

溅射靶材溅射靶材镍基合金材料低磁导率材料

应用场景

半导体制造, 平板显示器, 薄膜太阳能电池, 电子元器件镀膜, 磁记录介质

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摘要

本实用新型公开了一种低导磁率的实用型镍靶材，包括靶芯与靶座，所述靶芯底部设有基座，所述基座两侧壁均设有两个对称设置的插孔，所述靶座两侧壁均设有开口，所述开口内垂直设置有升降螺纹杆，所述升降螺纹杆外壁螺纹连接有升降螺母，所述升降螺母上滑动贯穿有两根与插孔对应的插杆，所述插杆通过复位机构与升降螺母连接，所述开口内设有与升降螺母配合的限制机构。本实用新型通过设置升降螺纹杆、升降螺母、插杆与插孔，能利用拖拽块使插杆端部带动防脱块与插孔分离，随即解除了靶芯与靶座的固定，能随着靶芯被消耗将靶芯移出靶座，从而为使用过程提供实用性，同时利用插孔与插杆活动式卡接固定，使装置具备一定便利性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种铬环靶模具

当前第 / 件

一种可提高平面靶材利用率的装置

同领域国内专利 · IPC: (C23C14_35)

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