实用新型 已授权

一种铬环靶模具

📄 申请号:CN202123074882.0 📄 发布日:2026/08/11

著录项目信息

申请日
2021-12-09
公开号
CN217617614U
公开日
2022-10-21
申请人
上海博译金属有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

半导体制造, 磁控溅射镀膜, 真空镀膜, 平面显示制作

摘要

本实用新型公开了一种铬环靶模具,包括上模与下模,所述上模与下模内均固定连接有成型块,所述成型块内开设有成型槽,两个所述成型块之间设有用于上模与下模合模过程中契合的卡合机构,所述成型槽内设有模芯,所述上模内设有用于对模芯位置调节的调节机构,所述上模与下模内均设有用于对成型铬环靶冷却的冷却机构,所述上模与下模的侧壁上均固定连接有多个环状设置的定位块。本实用新型通过设置连接轴、模芯以及成型槽等结构,利用活动模芯在材料成型后控制模芯的移动,达到对材料的挤压压缩处理,即实现材料在定型成型过程中进行尺寸的压缩以及进一步定型处理,避免了传统方式中冷却后的定型处理过程,提升加工效率。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:15 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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