发明专利已授权

OLED蒸镀设备的真空系统及其工作方法

📄 申请号：CN201910593265.X 📄 发布日：2026/08/07

著录项目信息

申请日

2019-07-03

公开号

CN110172672B

公开日

2024-04-09

申请人

江苏壹光科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_24

IPC 分类号

C23C14_24 , C23C14_56 ,

技术画像

所属领域

真空镀膜技术真空镀膜技术真空系统 OLED显示器件制造

应用场景

OLED面板制造, 真空蒸镀工艺, 显示器件生产, 半导体制造设备

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摘要

本发明公开了一种OLED蒸镀设备的真空系统及其工作方法，真空系统包括一个真空腔体及若干蒸发源，所述真空腔体通过真空插板阀与蒸发源连通，真空腔体及各个蒸发源分别通过各自的真空管路与真空泵连接，每一真空管路上均设有真空角阀；真空腔体及各个蒸发源分别通过各自的氮气管路与氮气钢瓶连接，每一氮气管路上均设有气动截止阀。本系统通过在设备主体腔体与蒸发源腔体之间增加真空插板阀，使得各蒸发源腔体与主体腔体之间的相互独立，进而使主体腔体、各蒸发源腔体间独立抽真空、破真空，互不干扰，减少了更换膜材料时整个系统的频繁破真空操作，提高蒸镀设备的产能及蒸镀质量。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种OLED模组及失效减少的OLED模组灯具

当前第 / 件

一种磁吸OLED灯

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