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本发明公开了一种OLED蒸镀设备的真空系统及其工作方法,真空系统包括一个真空腔体及若干蒸发源,所述真空腔体通过真空插板阀与蒸发源连通,真空腔体及各个蒸发源分别通过各自的真空管路与真空泵连接,每一真空管路上均设有真空角阀;真空腔体及各个蒸发源分别通过各自的氮气管路与氮气钢瓶连接,每一氮气管路上均设有气动截止阀。本系统通过在设备主体腔体与蒸发源腔体之间增加真空插板阀,使得各蒸发源腔体与主体腔体之间的相互独立,进而使主体腔体、各蒸发源腔体间独立抽真空、破真空,互不干扰,减少了更换膜材料时整个系统的频繁破真空操作,提高蒸镀设备的产能及蒸镀质量。
📄 201910593265X 📂 C23C14_24 👤 江苏壹光科技有限公司 📅 2019-07-03
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OLED蒸镀设备的真空系统及其工作方法

201910593265X · 江苏壹光科技有限公司
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