发明专利已授权

用于煤制气环境中的溅射薄膜敏感元件

📄 申请号：CN202011237585.0 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2020-11-09

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35 , C23C14_16 , C23C14_10 , C23C14_04 , C23C14_18 , C23C14_08 , G01B7_16 ,

技术画像

所属领域

薄膜传感器薄膜传感器溅射工艺气体敏感元件

应用场景

煤制气过程监测, 工业气体检测, 安全生产监控, 气体传感设备

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摘要

本发明公开了一种用于煤制气环境中的溅射薄膜敏感元件，包括基底、设于基底上表面上的过渡缓冲层、设于过渡缓冲层上表面上的绝缘层、设于绝缘层上表面上的功能层、设于功能层上表面上的防护层；基底采用316L不锈钢材料制成，过渡缓冲层为Ni膜，绝缘层为SiO2膜，功能层为FeNiAl合金膜，防护层为AlOx膜。本发明在煤制气环境中，溅射薄膜敏感元件可以牢固地固定于试样上，相互之间连接呈无机质化，因而消除了零点漂移和蠕变，实现了温度自补偿，从而提高了溅射薄膜敏感元件的灵敏度和测量结果的准确性的特点。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20221004

✅ 授权

20210316

?? 实质审查的生效：

20210226

📄 公开

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：24 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

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