本发明公开了一种用于煤制气环境中的溅射薄膜敏感元件,包括基底、设于基底上表面上的过渡缓冲层、设于过渡缓冲层上表面上的绝缘层、设于绝缘层上表面上的功能层、设于功能层上表面上的防护层;基底采用316L不锈钢材料制成,过渡缓冲层为Ni膜,绝缘层为SiO2膜,功能层为FeNiAl合金膜,防护层为AlOx膜。本发明在煤制气环境中,溅射薄膜敏感元件可以牢固地固定于试样上,相互之间连接呈无机质化,因而消除了零点漂移和蠕变,实现了温度自补偿,从而提高了溅射薄膜敏感元件的灵敏度和测量结果的准确性的特点。
📄 2020112375850
📂 C23C14_35
👤 浙江工业大学
📅 2020-11-09