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本发明公开了一种用于煤制气环境中的溅射薄膜敏感元件,包括基底、设于基底上表面上的过渡缓冲层、设于过渡缓冲层上表面上的绝缘层、设于绝缘层上表面上的功能层、设于功能层上表面上的防护层;基底采用316L不锈钢材料制成,过渡缓冲层为Ni膜,绝缘层为SiO2膜,功能层为FeNiAl合金膜,防护层为AlOx膜。本发明在煤制气环境中,溅射薄膜敏感元件可以牢固地固定于试样上,相互之间连接呈无机质化,因而消除了零点漂移和蠕变,实现了温度自补偿,从而提高了溅射薄膜敏感元件的灵敏度和测量结果的准确性的特点。
📄 2020112375850 📂 C23C14_35 👤 浙江工业大学 📅 2020-11-09
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发明 已授权

用于煤制气环境中的溅射薄膜敏感元件

2020112375850 · 浙江工业大学
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🔋 高能量密度固态电解质材料与制备工艺
预算:¥50-100万截止:2026-08-30发布方:××新能源科技响应:8人

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固态锂电池电解质专利包

转让方:中国科学院××研究所
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交易金额:¥320万
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CRISPR基因编辑技术

转让方:××大学
受让方:××生物医药有限公司
交易类型:转让
交易金额:¥1,200万

SiC功率器件工艺专利

转让方:××半导体有限公司
受让方:××汽车电子集团
交易类型:转让
交易金额:¥680万
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钙钛矿光伏组件技术

转让方:××科技公司
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交易类型:开放许可
交易金额:¥50万/年