发明专利已授权

一种实时间接测量溅射靶材温度装置

📄 申请号：CN201910473427.6 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2019-05-31

公开号

CN110117776B

公开日

2024-05-14

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35 , C23C14_54 ,

技术画像

所属领域

溅射镀膜溅射镀膜靶材温度测量半导体工艺设备

应用场景

半导体制造, 平板显示制造, 光伏电池制造, 真空镀膜, 物理气相沉积

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摘要

本发明公开了一种实时间接测量溅射靶材温度装置，包括贴合设置在靶材铜底座上的导热固定装置及设置在导热固定装置上的温度传感器装置，所述导热固定装置包括上导热固定铜块及下导热固定铜块，所述上导热固定铜块及下导热固定铜块通过固定螺丝设置在靶材铜底座内侧位置；所述温度传感器装置包括温度传感器探头、与温度传感器探头相连的防水耐高温线缆及与防水耐高温线缆相连的显示器。本发明的有益效果是：该装置设计巧妙，结构合理，使用方便，应用本装置为样品进行磁控溅射镀膜，使镀膜过程更加安全，保障了实验人员的人身安全，保证了测量的薄膜与基体的结合力的稳定性与精确性，对薄膜的研究领域具有重要的意义。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种无线携能通信中继网络中最大化传输和速率方法

当前第 / 件

一种基于随机游走和邻域重建的APT攻击检测方法

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：30 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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