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发明专利
已授权
一种基于In2O3/Pd纳米粒子组装结构的氨气气敏材料、其制备方法及柔性传感器件
📄 申请号:CN202211330980.2
📄 发布日:2026/08/04
著录项目信息
申请日
2022-10-28
公开号
CN115896696B
公开日
2025-02-18
申请人
浙江工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
C23C14_08
IPC 分类号
C23C14_08
,
C23C14_18
,
C23C14_34
,
C23C14_35
,
B22F1_054
,
G01N27_12
,
技术画像
所属领域
气敏材料
气敏材料
纳米材料
柔性传感器
应用场景
氨气泄漏检测, 环境监测, 工业安全, 可穿戴电子设备, 柔性气体传感
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摘要
本发明公开了一种基于In2O3/Pd纳米粒子组装结构的氨气气敏材料、其制备方法及柔性传感器件,本发明的In2O3/Pd纳米粒子组装材料利用团簇束流沉积技术制备,利用双靶团簇溅射源,在带有绝缘衬底的柔性叉指电极表面先后沉积In2O3纳米粒子和Pd纳米粒子;即可得到不同质量比例的In2O3/Pd混合纳米粒子组装材料。即可利用该材料实现氨气浓度的定量测量。本发明与其他现有技术相比,本发明涉及的In2O3和Pd混合纳米粒子组装材料能提供高性能的氨气传感功能,且由于Pd纳米粒子对In2O3的化学修饰以及协同催化作用,混合纳米粒子组装材料相比于单一的In2O3具有更多的活性位点,可以在较低的温度下对氨气实现高灵敏度和快速响应的感知机能。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
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当前第 / 件
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