发明专利 已授权

一种基于In2O3/Pd纳米粒子组装结构的氨气气敏材料、其制备方法及柔性传感器件

📄 申请号:CN202211330980.2 📄 发布日:2026/08/04

著录项目信息

申请日
2022-10-28
公开号
CN115896696B
公开日
2025-02-18
申请人
浙江工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号

技术画像

应用场景

氨气泄漏检测, 环境监测, 工业安全, 可穿戴电子设备, 柔性气体传感

摘要

本发明公开了一种基于In2O3/Pd纳米粒子组装结构的氨气气敏材料、其制备方法及柔性传感器件,本发明的In2O3/Pd纳米粒子组装材料利用团簇束流沉积技术制备,利用双靶团簇溅射源,在带有绝缘衬底的柔性叉指电极表面先后沉积In2O3纳米粒子和Pd纳米粒子;即可得到不同质量比例的In2O3/Pd混合纳米粒子组装材料。即可利用该材料实现氨气浓度的定量测量。本发明与其他现有技术相比,本发明涉及的In2O3和Pd混合纳米粒子组装材料能提供高性能的氨气传感功能,且由于Pd纳米粒子对In2O3的化学修饰以及协同催化作用,混合纳米粒子组装材料相比于单一的In2O3具有更多的活性位点,可以在较低的温度下对氨气实现高灵敏度和快速响应的感知机能。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

……

……

图1
图2
图3

法律状态时间线

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

暂无同领域相似专利推荐
议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:22 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

资金托管 权属尽调 包过户
🏢 淄博智来知识产权服务有限公司
✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)
王**¥-10万
李** 企业¥-8万
陈**¥-3万
查看全部出价