发明专利已授权

一种以Cr/CrAlN为过渡层在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法

📄 申请号：CN201911055503.8 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2019-10-31

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C16_27

IPC 分类号

C23C16_27 , C23C16_02 , C23C14_35 , C23C14_16 , C23C14_06 ,

技术画像

所属领域

金刚石薄膜金刚石薄膜表面涂层技术薄膜制备工艺

应用场景

切削刀具, 耐磨零件, 模具保护, 表面防护涂层

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摘要

本发明公开了一种以Cr/CrAlN为过渡层在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法，其特征在于：包括以下步骤：S1：不锈钢样品前处理：将不锈钢样品进行砂纸打磨，用丙酮和无水乙醇超声处理，烘干备用；S2：不锈钢表面沉积Cr/CrAlN过渡层：将S1步骤中的不锈钢样品装入磁控溅射设备的样品台，将Cr、Al靶材安装到靶座上，在不锈钢基底表面沉积Cr膜及CrAlN薄膜，得到含Cr/CrAlN过渡层的不锈钢样品；S3：在不锈钢表面制备金刚石薄膜：将S2步骤中含Cr/CrAlN过渡层的不锈钢样品进行超声种晶，利用热丝HFCVD进行沉积金刚石薄膜，实现在含Cr/CrAlN为过渡层的不锈钢表面上制备金刚石薄膜。采用本发明的技术，使金刚石膜与不锈钢之间结合力高，在洛氏硬度计150 kg载荷作用下薄膜未发生脱落。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20211102

✅ 授权

20200124

?? 实质审查的生效：

20191231

📄 公开

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