发明专利已授权

一种线性液动压抛光波纹度预测优化方法

📄 申请号：CN202010944467.7 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2020-09-10

公开号

CN112036090A

公开日

2020-12-04

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G06F30_27

IPC 分类号

G06F30_27 , G06F30_20 , G06K9_62 , G06Q10_04 , G06F111_04 , G06F113_08 ,

技术画像

所属领域

抛光工艺抛光工艺表面质量控制工艺优化算法

应用场景

精密加工, 光学元件制造, 半导体晶圆平坦化, 模具抛光, 高端装备制造

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摘要

本发明涉及一种线性液动压抛光波纹度预测优化方法，包括以下步骤：S1、分析与线性液动压抛光波纹度相关的各参数，分别进行单因素实验，探究各参数影响规律及响应灵敏度；S2、筛选显著参数为试验因子，波纹度为试验输出，利用响应曲面法分析参数间交互作用；S3、以响应曲面设计试验组为样本训练集，建立基于支持向量回归机SVR的线性液动压抛光波纹度预测模型，能准确预测未知样本下的波纹度；S4、以建立的最佳SVR预测模型为适应度函数，以遗传算法GA为全局寻优工具的优化模型，得到控制线性液动压抛光波纹度的最佳参数组合。本发明的线性液动压抛光波纹度预测优化方法进一步提升线性液动压抛光的加工能力。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种羟胺苯变位酶突变体及其应用

当前第 / 件

一种腈水解酶突变体及其在合成2-氯烟酸中的应用

同领域国内专利 · IPC: (G06F30_27)

G06F30_00 G06F30_10 G06F30_12 G06F30_13 G06F30_15 G06F30_17 G06F30_18 G06F30_20 G06F30_22 G06F30_23 G06F30_25 G06F30_27 G06F30_28 G06F30_30 G06F30_31 G06F30_32 G06F30_323 G06F30_327 G06F30_33 G06F30_3308 G06F30_331 G06F30_3315 G06F30_3323 G06F30_337 G06F30_34 G06F30_36 G06F30_367 G06F30_373 G06F30_39 G06F30_392 G06F30_394 G06F30_396 G06F30_398 覆盖33个领域

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