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一种AlN/Si/SiN/AlSiN/AlN/Al多层梯度结构涂层的制备方法及涂层

Name: 一种AlN/Si/SiN/AlSiN/AlN/Al多层梯度结构涂层的制备方法及涂层
Brand: 西南大学, 深圳森丰真空镀膜有限公司
SKU: 2023104119610
Availability: InStock

📄 申请号：CN202310411961.0 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2023-04-17

公开号

CN116426875B

公开日

2024-10-25

申请人

西南大学, 深圳森丰真空镀膜有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_06

IPC 分类号

C23C14_06 , C23C14_16 , C23C14_58 , C23C14_35 , C23C14_24 , C23C14_32 ,

技术画像

所属领域

多层梯度涂层多层梯度涂层硬质薄膜材料气相沉积技术

应用场景

切削刀具, 模具涂层, 耐磨零部件, 半导体制造设备

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摘要

本发明涉及表面防腐涂层技术领域，具体公开了一种AlN/Si/SiN/AlSiN/AlN/Al多层梯度结构涂层的制备方法和涂层，包括在基底表面依次沉积Al层、AlN层、AlSiN层、SiN层、Si层以及AlN层的步骤，还包括在沉积所述AlN层和/或所述AlSiN层的步骤之前，分别进行晶体生长调控处理的步骤。本发明提供的制备方法及涂层，形成了Al、Si元素双相梯度多层结构涂层，元素的梯度效应可以弱化腐蚀电荷的传输动力，提升涂层的耐腐蚀性能，同时采用晶体生长调控处理，抑制了AlSiN/AlN/Al层间的连续柱状生长缺陷，非连续生长结构封堵了腐蚀离子的渗入路径，进而极大提升了涂层的防腐性能。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN116426875B

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种唑螨酯抗原及其制备方法与应用

当前第 / 件

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