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本发明涉及表面防腐涂层技术领域,具体公开了一种AlN/Si/SiN/AlSiN/AlN/Al多层梯度结构涂层的制备方法和涂层,包括在基底表面依次沉积Al层、AlN层、AlSiN层、SiN层、Si层以及AlN层的步骤,还包括在沉积所述AlN层和/或所述AlSiN层的步骤之前,分别进行晶体生长调控处理的步骤。本发明提供的制备方法及涂层,形成了Al、Si元素双相梯度多层结构涂层,元素的梯度效应可以弱化腐蚀电荷的传输动力,提升涂层的耐腐蚀性能,同时采用晶体生长调控处理,抑制了AlSiN/AlN/Al层间的连续柱状生长缺陷,非连续生长结构封堵了腐蚀离子的渗入路径,进而极大提升了涂层的防腐性能。
📄 2023104119610 📂 C23C14_06 👤 西南大学, 深圳森丰真空镀膜有限公司 📅 2023-04-17
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发明 已授权

一种AlN/Si/SiN/AlSiN/AlN/Al多层梯度结构涂层的制备方法及涂层

2023104119610 · 西南大学, 深圳森丰真空镀膜有限公司
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