发明专利已授权

一种薄膜传感器用绝缘耐磨防护涂层、制备方法及其应用

Name: 一种薄膜传感器用绝缘耐磨防护涂层、制备方法及其应用
Brand: 安徽工业大学
SKU: 2022105898612
Availability: InStock

📄 申请号：CN202210589861.2 📄 发布日：2026/07/29

著录项目信息

申请日

2022-05-26

公开号

CN114959575A

公开日

2022-08-30

申请人

安徽工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_06

IPC 分类号

C23C14_06 , C23C14_32 , C23C14_02 , G01K7_16 , G01L9_06 ,

技术画像

所属领域

薄膜传感器功能涂层绝缘材料耐磨材料传感器薄膜传感器

应用场景

薄膜传感器, 传感器防护, 电子器件绝缘保护, 精密部件耐磨防护

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摘要

本发明涉及表面涂层技术领域，具体涉及一种薄膜传感器用绝缘耐磨防护涂层及其制备方法，该涂层由下而上依次包括金属衬底、CrN过渡层、AlCrN支撑层、AlCrSiON功能层，在氩离子刻蚀清洗后的金属衬底表面，采用电弧离子镀技术首先沉积0.2μm厚的CrN过渡层，然后沉积0.7μm厚的AlCrN支撑层，最后沉积0.5～3μm厚的AlCrSiON功能层厚度，所述AlCrSiON功能层主要由fcc‑(Al,Cr)N和fcc‑(Al,Cr)2O3混合相组成，通过实验证明，通过上述方案得到的绝缘耐磨涂层不仅具有优异的界面结合性能和耐磨损性能，而且具有较高的电阻值和电阻率，适用于薄膜传感器的表面防护。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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