发明专利已授权

一种调制碲化铅薄膜中自由载流子吸收的方法及装置

Name: 一种调制碲化铅薄膜中自由载流子吸收的方法及装置
Brand: 山东师范大学
SKU: 2021101600169
Availability: InStock

📄 申请号：CN202110160016.9 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2021-02-05

公开号

CN113025977A

公开日

2021-06-25

申请人

山东师范大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35 , C23C14_54 , C23C14_06 ,

技术画像

所属领域

半导体薄膜半导体薄膜光电材料薄膜制备工艺

应用场景

红外探测, 光电检测, 光通信, 传感器

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摘要

本公开提供了一种调制碲化铅薄膜中自由载流子吸收的方法及装置，采用射频磁控溅射仪器，所述方案包括：设定相关溅射工艺参数；获取碲化铅薄膜的自由载流子吸收与衬底温度曲线；根据所述曲线确定化学计量比与衬底温度的映射关系；基于所述映射关系，通过调节衬底温度实现所述碲化铅薄膜中自由载流子吸收的调制；获得预设化学计量比的碲化铅薄膜；所述方案通过调节衬底温度，改变制备出的碲化铅薄膜的化学计量比，从而改变薄膜中析出铅元素的量，用于改变杂质散射自由载流子的强度，达到调制自由载流子吸收的目的，进而实现碲化铅薄膜不同化学计量比的可控调节。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN113025977A

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该专利的转让价格是多少？

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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