发明专利已授权

带有复合磁场的类金刚石涂层制备装置及其应用

📄 申请号：CN201810159747.X 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2018-02-26

公开号

CN108374154B

公开日

2023-06-13

申请人

温州职业技术学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35 , C23C16_26 , C23C16_02 , C23C16_513 ,

技术画像

所属领域

类金刚石涂层真空镀膜设备类金刚石薄膜磁场辅助沉积涂层制备装置金刚石涂层类金刚石涂层

应用场景

切削刀具, 模具涂层, 耐磨零件, 汽车零部件, 医疗器械

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摘要

本发明公开了一种带有复合磁场的类金刚石涂层制备装置及其应用，该类金刚石涂层主要是通过利用装配有可旋转的磁芯的中心阳极或纵向电磁线圈，以及正八角机上装配的八组工艺组件形成的闭合磁场，所形成复合磁场下的等离子体制备类金刚石涂层，八组有磁场控制的工艺组件形成闭合的环形磁场，中心阳极的可旋转磁芯上装配有八道磁靴，可与相对应的工艺组件形成横向磁场，纵向线圈在接通电流后可在真空室内形成纵向磁场，两种或三种磁场的相互作用可在真空腔体内形成复杂的复合磁场，可增加电子的自由程，提高粒子的离化率，从而增加碳粒子的活性，获得高质量的类金刚石涂层。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种智能家居大数据用机柜摆放装置

当前第 / 件

一种足型快速采集方法及个性化鞋楦成型技术

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：28 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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