类金刚石涂层 - 专利交易市场|柿子坊知识产权运营平台

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本发明公开了一种带有复合磁场的类金刚石涂层制备装置及其应用，该类金刚石涂层主要是通过利用装配有可旋转的磁芯的中心阳极或纵向电磁线圈，以及正八角机上装配的八组工艺组件形成的闭合磁场，所形成复合磁场下的等离子体制备类金刚石涂层，八组有磁场控制的工艺组件形成闭合的环形磁场，中心阳极的可旋转磁芯上装配有八道磁靴，可与相对应的工艺组件形成横向磁场，纵向线圈在接通电流后可在真空室内形成纵向磁场，两种或三种磁场的相互作用可在真空腔体内形成复杂的复合磁场，可增加电子的自由程，提高粒子的离化率，从而增加碳粒子的活性，获得高质量的类金刚石涂层。

📄 201810159747X 📂 C23C14_35 👤 温州职业技术学院 📅 2018-02-26

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带有复合磁场的类金刚石涂层制备装置及其应用

201810159747X · 温州职业技术学院

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