发明专利已授权

一种曲面粒子源

📄 申请号：CN201810159733.8 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2018-02-26

公开号

CN108342707B

公开日

2023-10-31

申请人

温州职业技术学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_46

IPC 分类号

C23C14_46 , C23C14_06 , C23C14_14 ,

技术画像

所属领域

离子源离子源粒子束技术表面处理

应用场景

薄膜沉积, 表面改性, 离子注入, 真空镀膜, 半导体制造

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摘要

本发明公开了一种曲面粒子源，其包括曲面放电靶材、水冷套、接线柱、绝缘套、磁靴、（多组）筛网、进气、固定组件，通过接线柱将曲面放电靶材接通负电压，会产生辉光放电，受放电电极形状影响，电子束汇合发生空心阴极放电效应，阳极即可是水冷进气管亦可筛网，阳极加正电即可接收电子，又可加速粒子输出，筛网可加负电，可作为粒子的引出极，三种电极的配合，可获得大量高能粒子，放电阴极是由多组金属基片拼接并可在其表面钎焊非金属材料并通过螺栓固定在由不锈钢管表面焊接水冷盘管的水冷套上，绝缘套可实现各个组件之间绝缘，磁靴组件内置磁铁。本发明利用环形阴极放电过程中的空心阴极效应为pvd涂层制备过程中提供高能粒子。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20240924

?? 专利权的转移：

20231031

✅ 授权

20180824

?? 实质审查的生效：

20180731

📄 公开

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：32 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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