发明专利已授权

一种基于金属腔的表面等离激元激光器

📄 申请号：CN201810007648.X 📄 发布日：2026/07/20

著录项目信息

申请日

2018-01-04

公开号

CN107959224B

公开日

2023-06-20

申请人

华侨大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01S5_028

IPC 分类号

H01S5_028 , H01S5_04 , H01S5_10 , H01S5_30 ,

技术画像

所属领域

表面等离激元技术表面等离激元技术激光器技术纳米光子学

应用场景

光通信, 集成光学, 生物传感, 光学传感, 高密度光存储

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摘要

本发明公开了一种基于金属腔的表面等离激元激光器，包括表面等离激元波导和金属腔。本发明的金属腔是利用刻蚀技术嵌入在表面等离激元波导中作为激光器的谐振腔，因此金属腔的形状和尺寸可精确控制。由于金属腔的腔镜对腔中表面等离激元模式的反射率超过90％，使得金属腔中表面等离激元激光的Q值高达1170。本发明的表面等离激元激光器采用金属腔作为激光器的谐振腔，具有物理尺寸小、品质因数大、形状和尺寸可精确控制、制备工艺简单成熟、室温工作，可与电子芯片兼容等优点。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

基于金属微腔的半导体激光器及其制作方法

当前第 / 件

一种基于堆叠集成技术的Android恶意软件检测方法

同领域国内专利 · IPC: (H01S5_028)

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