本发明提供了一种InGaAs/AlGaAs阱垒外延层结构的优化方法及其应用,包含GaAs衬底和GaAs间隔层,具体是利用MOCVD方法在GaAs衬底上交替生长量子阱InGaAs和势垒AlGaAs,并在每个InGaAs/AlGaAs阱垒界面处均插入一层GaAs间隔层,有效的减小了In、Al原子偏析的长度,并且减小了AlGaAs势垒厚度,避免了In的扩散,降低了外延生长InGaAs量子阱的难度,有助于提高激光器的内量子效率,增强其光电性能。
📄 2021100544320
📂 H01S5_343
👤 陕西科技大学
📅 2021-01-15
本发明公开了一种基于二硫化钼的表面等离子体激元的纳米激光器,包括:半导体纳米线、上SiO2层、MoS2层、下SiO2层、金属纳米线以及包裹金属纳米线的SiO2层,其中:上SiO2层和下SiO2层的横向中间位置均设置有空气槽,上SiO2层和下SiO2层之间被MoS2层间隔;半导体纳米线位于上SiO2层之上,并与上SiO2层横向中间位置的空气槽通过两个交点相连;金属纳米线位于下SiO2层下方,且包裹在SiO2层内部,金属纳米线与下SiO2层横向中间部分的空气槽通过一个交点相连。本发明的能量损耗小,可以在室温下实现,阈值更小,能合理平衡能量损耗与局域模限制,方便制造,尺寸更小,阈值更小,综合性能更优。
📄 2016112047756
📂 H01S5_34
👤 武汉工程大学
📅 2016-12-23