专利交易市场

本发明提供了一种基于金属微腔的半导体激光器及其制作方法，包括第一硅衬底、金属反射镜以及依次设置于所述硅衬底上的环氧树脂层、金属膜、金属层、绝缘介质层、有源层；所述金属反射镜的一端穿过所述有源层及绝缘介质层与所述金属膜抵接，所述金属反射镜的另一端暴露于空气中，所述金属层和金属反射镜组成一金属腔，作为半导体激光器的光学谐振腔。应用本技术方案可实现金属腔损耗小，不仅可以提高微腔的品质因子还可以降低激光的振荡阈值。

本发明提供了一种回音壁模式有机微盘谐振腔的制备方法，其属于光学器件领域，该方法包括：将有机半导体分子溶解于有机良溶剂中，得到浓度为2～10mmol/L有机半导体分子溶液；将有机半导体分子溶液注入到醇‑水溶液中，超声1‑3min后，静置8‑12min，析出沉淀，其中醇‑水溶液中醇为低级醇，低级醇的体积百分含量为0～40％；以及将所得沉淀物滴至基板上，自然晾干。该制备方法简单快捷，所制备得到的有机微盘谐振腔纯度高，没有光学缺陷，具有完好的环形边界与超光滑的表面，可以有效地降低光的耦合输出损耗，而且通过改变条件还能够制备两个甚至更多的耦合微盘结构。

本发明公开了基于金属腔表面等离激元激光可控输出装置及其输出方法，输出装置包括表面等离激元激光器及激光输出波导；表面等离激元激光器包括金属腔和表面等离激元波导；金属腔包括第一腔镜和第二腔镜，第一腔镜开设输出窗口；表面等离激元波导包括透明衬底层、位于透明衬底层上的增益介质层、位于增益介质层上的绝缘介质层和位于绝缘介质层上的金属膜层；金属腔和表面等离激元波导是利用刻蚀技术嵌入在表面等离激元激光器中，且刻蚀深度延伸至透明衬底层；激光输出波导和第一腔镜的输出窗口相连，通过输出窗口输出激光及控制激光能量，通过激光输出波导控制激光传输方向。它具有如下优点：不仅能输出激光而且激光输出的能量及方向可控。

本发明公开了一种基于金属尖端‑空气槽的表面等离子体激元的纳米激光器，包括绝缘层以及通过绝缘层相连的增益介质腔体、空气间隙层和金属尖端层，其中：空气间隙层为绝缘层的一道空气槽，设置在绝缘层上边沿的中间位置；增益介质腔体设置在空气间隙层的上方，增益介质腔体的横截面与空气间隙层的横截面通过两个交点相连；金属尖端层设置在空气间隙层的下方，且金属尖端层被绝缘层包裹，金属尖端层横截面的一个尖端与空气间隙层的横截面相交于一点。本发明的能量损耗小，可以在室温下实现，阈值更小，能合理平衡能量损耗与局域模限制，方便制造，尺寸更小，阈值更小，综合性能更优。

本发明公开了一种基于圆环形光子晶体纳米梁谐振腔的电驱动激光器。该激光器由下至上依次包括Si基衬底、热氧化SiO2层、Si波导、BCB层、SiO2层、P掺杂层、有源区、N掺杂层、SiO2包覆层；所述Si基衬底、所述热氧化SiO2、所述Si波导共同构成SOI波导结构；所述P掺杂层、所述有源区、所述N掺杂层共刻出纳米梁谐振腔；所述P掺杂层上部在纳米梁谐振腔两侧镀有与Si波导平行的条状上电极，所述纳米梁谐振腔上部沿Si波导方向两端镀有下电极。本发明利用圆环形光子晶体纳米梁作为激光器的谐振腔，通过进一步减小光互连VCSEL有源区体积以提高激光器高速和低能耗性能。