发明专利 已授权

基于金属微腔的半导体激光器及其制作方法

📄 申请号:CN201810620451.3 📄 发布日:2026/07/20

著录项目信息

申请日
2018-06-15
公开号
CN108879322B
公开日
2023-05-09
申请人
华侨大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

光通信, 激光传感, 光互连, 半导体激光器制造

摘要

本发明提供了一种基于金属微腔的半导体激光器及其制作方法,包括第一硅衬底、金属反射镜以及依次设置于所述硅衬底上的环氧树脂层、金属膜、金属层、绝缘介质层、有源层;所述金属反射镜的一端穿过所述有源层及绝缘介质层与所述金属膜抵接,所述金属反射镜的另一端暴露于空气中,所述金属层和金属反射镜组成一金属腔,作为半导体激光器的光学谐振腔。应用本技术方案可实现金属腔损耗小,不仅可以提高微腔的品质因子还可以降低激光的振荡阈值。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:57 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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