本发明公开了一种基于金属腔的表面等离激元激光器,包括表面等离激元波导和金属腔。本发明的金属腔是利用刻蚀技术嵌入在表面等离激元波导中作为激光器的谐振腔,因此金属腔的形状和尺寸可精确控制。由于金属腔的腔镜对腔中表面等离激元模式的反射率超过90%,使得金属腔中表面等离激元激光的Q值高达1170。本发明的表面等离激元激光器采用金属腔作为激光器的谐振腔,具有物理尺寸小、品质因数大、形状和尺寸可精确控制、制备工艺简单成熟、室温工作,可与电子芯片兼容等优点。
📄 201810007648X
📂 H01S5_028
👤 华侨大学
📅 2018-01-04