实用新型已授权

真空离子镀膜设备的移动平台定位机构

📄 申请号：CN202322411160.2 📄 发布日：2026/07/06

著录项目信息

申请日

2023-09-06

公开号

CN220977126U

公开日

2024-05-17

申请人

青岛制高点科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C23C14_32

IPC 分类号

C23C14_32

技术画像

所属领域

离子镀真空镀膜设备精密定位机构移动平台结构离子镀

应用场景

真空镀膜, 表面处理, 工具镀膜, 模具镀膜, 电子器件镀膜

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摘要

本实用新型为真空离子镀膜设备的移动平台定位机构，涉及真空镀膜领域，解决了目前用于真空离子镀膜移动平台的定位方式主要为插销方式，插销的特点是结构简单、部件少，但在装载平台时，需要人为来判断插销是否对准插孔上方，并且转架在滑动过程中，时常需要人为来判断，以防掉落，所以效率较低，且人为判断失误率较高，移动平台较重，一但由于惯性划过了插孔就会导致移动平台掉落，很容易砸伤操作者，使产品及移动平台受损的问题。技术特征包括:底座以及移动平台。使用方便，利用率高，结构相对简单，使用方便。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种真空离子镀膜用送气装置

当前第 / 件

一种建筑结构实体检测用印章

同领域国内专利 · IPC: (C23C14_32)

C23C14_00 C23C14_02 C23C14_04 C23C14_06 C23C14_08 C23C14_14 C23C14_16 C23C14_18 C23C14_20 C23C14_22 C23C14_24 C23C14_26 C23C14_28 C23C14_30 C23C14_32 C23C14_34 C23C14_35 C23C14_46 C23C14_48 C23C14_50 C23C14_52 C23C14_54 C23C14_56 C23C14_58 覆盖24个领域

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