实用新型已授权

一种真空离子镀膜用送气装置

📄 申请号：CN202322410616.3 📄 发布日：2026/07/06

著录项目信息

申请日

2023-09-06

公开号

CN220724336U

公开日

2024-04-05

申请人

青岛制高点科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C23C16_455

IPC 分类号

C23C16_455

技术画像

所属领域

真空镀膜真空镀膜离子镀膜气体输送

应用场景

表面处理, 工模具涂层, 装饰镀膜, 真空镀膜设备

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摘要

本实用新型为一种真空离子镀膜用送气装置，涉及真空离子镀膜技术领域。技术特征包括混合腔结构，其具有进气口和出气口；所述进气口处连接有进气管道，所述进气管道与提供气体的气瓶连接；所述出气口处连接有出气管道，所述出气管道上设置多组支路管道；所述混合腔结构的进气口所在端还设置辅助加压机构，通过所述辅助加压机构向所述混合腔结构内施加气压以使所述混合腔结构的所述出气口端保持恒定送气气压。真空离子镀膜在将工作气体和反应气体输送至镀膜室中的过程中，以混合腔结构对气体进行预混合，使得气体混合充分均匀；并且辅助加压机构通过向混合腔结构施加气压，避免了由于气瓶内气体容量或气压过低而对镀膜质量带来的不利影响。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种建筑材料检测用切割机

当前第 / 件

真空离子镀膜设备的移动平台定位机构

同领域国内专利 · IPC: (C23C16_455)

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：48 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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