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激光诱导活性离子刻蚀金刚石的加工装置及加工方法

Name: 激光诱导活性离子刻蚀金刚石的加工装置及加工方法
Brand: 华侨大学
SKU: 2021116751706
Availability: InStock

📄 申请号：CN202111675170.6 📄 发布日：2026/09/04

著录项目信息

申请日

2021-12-31

公开号

CN114083139B

公开日

2023-05-05

申请人

华侨大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B23K26_362

IPC 分类号

B23K26_362 , B23K26_70 ,

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

精密加工, 半导体器件制造, 光学元件加工, 超硬刀具制备

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摘要

本发明公开了激光诱导活性离子刻蚀金刚石的加工装置及加工方法，加工装置包括激光器、聚焦物镜、金刚石、样品夹具、活性靶材和工作台；该活性靶材固装在工作台上，该样品夹具夹接金刚石，且金刚石和活性靶材上下布置；该激光器发出的激光束经聚焦物镜、金刚石辐射聚焦在活性靶材上并激光诱导出向金刚石背面转移的活性离子体，该活性离子体与金刚石表面的碳原子化学反应生成金属碳化物，生成的金属碳化物被后续活性离子体撞击剥离去除。它具有如下优点：热损伤小、加工质量好、稳定性高、加工成本低、高效快捷、操作简单，减小加工热影响，是一种高效稳定低耗的微细加工技术，为金刚石高效加工提供了一种新的途径。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN114083139B

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：22 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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