实用新型已授权

一种用溅射镀膜设备的夹具

📄 申请号：CN202120458744.3 📄 发布日：2026/04/22

著录项目信息

申请日

2021-03-03

公开号

CN214612733U

公开日

2021-11-05

申请人

苏州万荣精密机械有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C23C14_34

IPC 分类号

C23C14_34 , C23C14_50 ,

技术画像

所属领域

溅射镀膜设备溅射镀膜设备真空镀膜技术工装夹具

应用场景

半导体制造, 光学镀膜, 电子器件镀膜, 表面处理, 薄膜材料制备

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摘要

本实用新型提供一种用溅射镀膜设备的夹具，包括：夹合部件、支撑板、支撑架、固定板、固定头、垫板、限位条、夹料槽、底板、底座、固定槽、油压泵一、固定座、紧固座套、固定孔、连接套、液压支杆、连接卡扣、螺栓孔、油压泵二、密封套、下支杆、压块、橡胶垫、滑槽、固定条以及挤压垫，所述夹合部件后端面安装有支撑板，所述夹合部件上端安装有固定头，所述挤压垫上端安装有垫板，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：避免了现有夹具固定效果差的问题，解决了原有装置不具有夹紧松弛等调节功能的问题，提高了本实用新型夹紧的效果。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种定位浮动工装夹具设备

当前第 / 件

一种丝管蒸发器自动焊接设备专用夹具

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：93 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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