发明专利已授权

多弧离子镀膜用弧源机构及其冷却方法

📄 申请号：CN202311665696.5 📄 发布日：2026/01/29

著录项目信息

申请日

2023-12-06

公开号

CN117604464B

公开日

2026-01-27

申请人

金华星源五金制品有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_32

IPC 分类号

C23C14_32 , H01J37_34 ,

技术画像

所属领域

真空镀膜设备真空镀膜设备表面处理技术冷却系统

应用场景

刀具涂层, 模具涂层, 装饰镀膜, 工业零部件表面强化

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摘要

本发明涉及一种多弧离子镀膜用弧源机构及其冷却方法,通过集水储存、喷淋循环、快速电冷却以及水冷风冷复合散热的方式,实现了对弧源的高效智能冷却。该弧源机构包含弧源组件、集水机构、循环喷淋机构、冷却机构、散热机构、水冷机构及温控机构。集水机构对冷却水进行储存,隔温板实现保温隔热。循环喷淋机构利用泵和喷头实现冷却水的循环喷淋,增强对靶材的吸热效果。冷却机构中设置具有快速吸收和释放大量热量功能的制冷芯片,对储水进行降温处理。水冷机构利用外部水冷辅助散热。温控机构监测水温并控制各机构的工作。该弧源机构中各单元模块配合工作,形成闭路循环,可快速吸收靶材的热量,对冷却水进行降温,确保弧源高效、稳定的冷却支持。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种外隔离一体式双组份胶容器

当前第 / 件

一种软件测试装置

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