实用新型 已授权

一种真空热蒸镀用匀气机【钙钛矿光伏 真空镀膜】

📄 申请号:CN202121856704.0 📄 发布日:2026/08/21

著录项目信息

申请日
2021-08-10
公开号
CN215440658U
公开日
2022-01-07
申请人
武汉鑫誉金天科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

真空镀膜, 半导体制造, 光学薄膜制备, 表面处理, 显示器件制造

摘要

本实用新型适用于真空蒸镀领域,提供了一种真空热蒸镀用匀气机,包括进气管道和出气管道,进气管道与出气管道设置有预定间隙,所述进气管道上固定有第一气盘,第一其盘朝向进气管道的一侧设置有与自身贴合的第二气盘,第二气盘与进气管道通过软管相连接,所述第一气盘和第二气盘上均开有位置相对应的气孔,出气管道一侧设置有调节机构。其有益效果是:在气体进行输送时,通过调节机构带动第二气盘与第一气盘进行相对往复运动,使得二者上的气孔周期性的重叠或者错开,能够将气体在进气管道中积蓄,然后周期性的从重叠的气孔中排出,能够有效保证进入出气管道中的气体均匀度,从而保证镀膜的均匀化,实际使用效果好。

常见问题

这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN215440658U

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

议价
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📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:33 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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