发明专利已授权

一种石墨烯透明电极薄膜的制备方法

📄 申请号：CN201611253178.2 📄 发布日：2025/12/23

著录项目信息

申请日

2016-12-30

公开号

CN106756835A

公开日

2017-05-31

申请人

南京信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_34

IPC 分类号

C23C14_34 , C23C14_06 ,

技术画像

所属领域

石墨烯材料石墨烯材料透明导电薄膜薄膜制备工艺

应用场景

触控显示, OLED显示, 薄膜太阳能电池, 柔性电子, 智能玻璃

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摘要

本发明涉及一种石墨烯透明电极薄膜的制备方法，以氧化还原石墨片为石墨烯溅射的靶材元素，借助双阴极辉光等离子放电作用在不同基体表面溅射沉积石墨烯薄膜的方法。本发明中石墨烯在溅射成膜过程中由于两个阴极的等离子同时产生作用，增强了体系的辉光放电成膜效率。因此，所得石墨烯薄膜质量较好，性能较为稳定。本发明对基体的材料及形状具有较大的选择性，可以在不同形状及不同材料的基体上制备石墨烯薄膜，所制备的石墨烯薄膜较为均匀，而且可以大面积量制备。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20181116

✅ 授权

20170623

?? 实质审查的生效：

20170531

📄 公开

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