发明专利已授权

一种OLED基板蒸镀设备

📄 申请号：CN202411506328.0 📄 发布日：2026/04/16

著录项目信息

申请日

2024-10-28

公开号

CN119194348B

公开日

2025-04-08

申请人

重庆师范大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_04

IPC 分类号

C23C14_04 , C23C14_24 , C23C14_50 , H10K71_16 , C23C14_54 ,

技术画像

所属领域

真空蒸镀技术真空蒸镀技术 OLED制造设备薄膜沉积设备

应用场景

OLED显示面板制造, 柔性显示制造, 有机发光器件制备, 真空镀膜加工

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摘要

本发明公开了一种OLED基板蒸镀设备，涉及显示器部件制造技术领域，包括蒸发源，与蒸镀机内壁固定连接的支撑框架，支撑框架上安装有掩膜板，掩膜板上设置有基板本体；掩膜板周边以及中心区域均固定安装有连接套筒，并在连接套筒内部设置有支撑脚，并在支撑脚内部安装有安装轴体，其中安装轴体内部设置有吸盘单元，安装轴体一端安装有圆形盘架，连接套筒底部固定安装有电性磁板，且圆形盘架靠近电性磁板的表面为磁性面，此OLED基板蒸镀设备，通过电性磁板与圆形盘架磁性面之间的磁性关系，使得圆形盘架控制安装轴体和其内部的吸盘单元进行位置调整，从而控制基板本体进行相应的位置调整，以实现自动调整基板本体与掩膜板之间距离的目的。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20250408

✅ 授权

20250114

?? 实质审查的生效：

20241227

📄 公开

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