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| 专利/申请号： | CN202210142806.9 | 专利名称： | 一种旋转式中间预热磁控溅射靶装置 |
| 申请日： | 2022-02-16 | 申请/专利权人 | 青岛科技大学 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 山东省青岛市崂山区松岭路99号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | C23C14/35 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2022-05-13 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN114481072A | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 4 | 所属领域： | 磁控溅射技术 材料表面处理 薄膜沉积设备专利转让搜索 |
应用场景：解决磁控溅射靶材利用率低、靶材预热不均匀导致的薄膜沉积缺陷问题;应用于半导体、光伏、显示屏等领域的高性能薄膜制备
摘 要：本发明提供了一种旋转式中间预热磁控溅射靶装置，其中包括支架装置、支架下电机、靶装置、靶腔下置的推出装置及中间加热板装置。架装置和支架下电机来进行固定传导旋转及电阻丝预热，靶装置内中间加热板的电阻丝进行预热，靶材更换时通过推出装置的滑道把靶材推出进行更换。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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