发明专利已授权

一种微波介质陶瓷表面镀银的PVD工艺

📄 申请号：CN202110200646.4 📄 发布日：2026/02/09

著录项目信息

申请日

2021-02-23

公开号

CN113005413A

公开日

2021-06-22

申请人

昆山市恒鼎新材料有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35 , C23C14_02 , C23C14_18 , C23C14_54 ,

技术画像

所属领域

物理气相沉积物理气相沉积表面金属化微波介质陶瓷

应用场景

通信基站, 微波滤波器, 卫星通信, 雷达系统, 电子陶瓷元器件

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摘要

本发明公开了一种微波介质陶瓷表面镀银的PVD工艺，采用真空平面磁控溅射镀膜，首先陶瓷件预处理清洗，进真空室加热，并对真空室抽真空；然后真空室通入氩气，进行离子清洗；最后对陶瓷件进行镀膜，包括：关闭氩气、辅助偏压，在陶瓷件上镀膜Cr层，形成打底层；在打底层上镀膜Ag/Cu/Cr合金层，形成第一过渡层；在第一过渡层上镀膜Ag/Cu合金层，形成第二过渡层；在第二过渡层上镀膜Ag层，完成镀银。本发明的真空平面磁控溅射镀膜工艺，原材料以惰性气体和固体金属靶材为主，在100‑300℃温环境下沉积金属膜；本发明制程短、工艺制程简单、工艺流程环保、成本低且单件产品能耗比低。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种地铁轨道养护设备

当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：77 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

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