发明专利已授权

一种3C铝制件表面处理的PVD真空镀膜工艺

📄 申请号：CN201911133009.9 📄 发布日：2025/10/11

著录项目信息

申请日

2019-11-19

公开号

CN112899625B

公开日

2024-04-16

申请人

昆山市恒鼎新材料有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35 , C23C14_16 , C23C14_06 ,

技术画像

所属领域

镀膜工艺真空镀膜表面处理铝及铝合金加工镀膜工艺

应用场景

消费电子, 3C产品外壳, 金属表面装饰, 耐磨涂层, 精密零部件

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摘要

本发明提供一种3C铝制件表面处理的PVD真空镀膜工艺，包含以下步骤：将铝制件清洗后放入真空室内加热烘干，随后向真空室内通入氩气，对铝制件进行离子清洗；离子清洗后，关闭氩气、辅助偏压，调整真空室的真空度；向真空室内通入氩气使真空度维持在10‑1 Pa数量级的动态平衡压强；依次为铝制件镀上Cr基层镀层、CrN第一过渡层、CrSiN第二过渡层和Cr第三过渡层；完成铝制件表面处理，此时铝制件的颜色为银色；换真空室，采用中频电源作为溅射电源，以多弧离子镀或真空平面磁控溅射镀工艺为铝制件镀上颜色层。本发明采用物理气相沉积原理对铝制件表面处理，该工艺过制程短，生产无污染，环保安全，且能耗水耗低，良品率高。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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