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| 专利/申请号： | CN202022042669.0 | 专利名称： | 一种真空镀膜机用清洁装置 |
| 申请日： | 2020-09-17 | 申请/专利权人 | 山东沐东真空科技有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 山东省聊城市阳谷县博济桥办事处谷山路南段(建委对过) |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | C23C14/56 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2021-06-01 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN213327820U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 3 | 所属领域： | 机械设备 表面处理技术 半导体制造设备 光学薄膜沉积专利转让搜索 |
应用场景：真空镀膜机的腔室内壁自动清洁维护;去除残留物以提高镀膜质量;延长设备连续运行周期;半导体晶圆加工中的工艺环境保障;光学元件生产时的污染控制
摘 要：本实用新型公开了一种真空镀膜机用清洁装置，包括真空镀膜机主体、固定板、电机、密封塞和密封盖，所述真空镀膜机主体的下端面环形阵列固定有支撑块，且支撑块共设有四个，所述真空镀膜机主体的一侧下端开设有通孔，所述密封塞活动安装在通孔的内部，所述固定板的下端面外侧固定有限位槽，所述固定板通过限位槽活动安装在真空镀膜机主体的上端，所述固定板的中间处固定有轴承，所述电机固定在固定板的上端面中间处，所述电机的下端中间处活动安装有转动杆，所述转动杆的下端延伸至真空镀膜机主体的内部，所述转动杆位于真空镀膜机主体内部的一端固定有毛刷。本实用新型方便了对真空镀膜机进行清洗，有利于对真空镀膜机进行使用的优点。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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