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| 专利/申请号: | CN201910146487.7 | 专利名称: | 图像传感器及其形成方法 |
| 申请日: | 2019-02-27 | 申请/专利权人 | 德淮半导体有限公司 |
| 专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号 |
| 专利状态: | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号: | H01L27/146 分类检索 |
| 公开/公告日: | 2021-01-22 | 转让价格: | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号: | CN109860215B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量: | 20 | 所属领域: | 专利转让搜索 |
摘 要:一种图像传感器及其形成方法,所述方法包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底的表面具有第一介质层;形成穿透硅通孔沟槽,所述穿透硅通孔沟槽贯穿所述半导体衬底以及所述第一介质层;形成格栅材料,所述格栅材料的一部分填充所述穿透硅通孔沟槽以形成穿透硅通孔,所述格栅材料的另一部分覆盖所述第一介质层以形成格栅材料层;在所述格栅材料层的表面形成衬垫;对未被所述衬垫覆盖的格栅材料层进行刻蚀,以形成网格状的格栅结构。本发明方案可以减少光刻工艺的数量,有效地降低制造成本。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
| 专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
| 专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
| 解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
| 专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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