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发明专利
已授权
图像传感器及其形成方法
📄 申请号:CN201810160662.3
📄 发布日:2025/09/08
著录项目信息
申请日
2018-02-27
公开号
CN108336103B
公开日
2020-12-18
申请人
淮安西德工业设计有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H01L27_146
IPC 分类号
H01L27_146
技术画像
所属领域
图像传感器
图像传感器
半导体器件
微电子制造工艺
应用场景
智能手机摄像, 安防监控, 车载摄像, 医学影像, 工业视觉检测
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摘要
本发明公开了一种图像传感器及其形成方法,图像传感器包括:半导体衬底;位于半导体衬底内的吸收绿光的光电二极管、吸收蓝光的光电二极管、吸收红光的光电二极管及垂直电荷转移层,吸收绿光的光电二极管、吸收红光的光电二极管和垂直电荷转移层间隔分布,吸收蓝光的光电二极管位于吸收红光的光电二极管上且延伸至覆盖垂直电荷转移层;位于半导体衬底上的平坦化层;位于平坦化层上的滤光层和微透镜,滤光层包括绿色滤光器、品红滤光器和蓝色滤光器,绿色滤光器下对应有吸收绿光的光电二极管,品红滤光器下对应有吸收红光的光电二极管,蓝色滤光器下对应有垂直电荷转移层。本发明避免了光对垂直电荷转移层的串扰且提高了图像传感器的透光面积。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
图像传感器及其形成方法
当前第 / 件
图像传感器及其形成方法
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