本发明公开了一种集成LDMOS和LIGBT的复合型RC‑LIGBT器件,包括左右两边呈对称结构且共用一个发射极的LDMOS有源区以及LIGBT有源区;LDMOS有源区沟道受栅极Ⅰ控制,LIGBT有源区沟道受栅极Ⅱ控制,金属集电极Ⅰ与金属集电极Ⅱ相连。具有以下优点:在正向导通时消除snapback效应;由于LDMOS区中集电极N‑Collector的存在,在反向导通时使其具有反向导通能力,由于无集电极P‑Collector对电流的阻挡作用,复合型RC‑LIGBT的反向导通能力优于传统RC‑LIGBT。本发明的复合型RC‑LIGBT工艺与传统RC‑LIGT工艺兼容,只需要版图设计,无需额外工艺。
📄 2019100235635
📂 H01L27_12
👤 重庆邮电大学
📅 2019-01-10