发明专利已授权

一种内嵌金属网格型透明导电薄膜的制备方法

📄 申请号：CN201710694596.3 📄 发布日：2025/09/08

著录项目信息

申请日

2017-08-15

公开号

CN107541700B

公开日

2019-05-31

申请人

江苏大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_04

IPC 分类号

C23C14_04 , C23C14_35 , C23C14_18 ,

技术画像

所属领域

透明导电薄膜透明导电薄膜金属网格电极薄膜制备工艺

应用场景

触控显示, 显示面板, 太阳能电池, 柔性电子, 电磁屏蔽

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摘要

本发明提供了一种内嵌金属网格型透明导电薄膜的制备方法，属于激光微纳加工和透明导电薄膜领域。首先在基底上旋涂一层PVP，然后利用激光束在PVP/基底上刻蚀网格阵列形状的凹槽；通过磁控溅射镀膜仪在经激光刻蚀过的PVP/基底表面和凹槽内溅射一层的金属；溅射完将金属/PVP/基底置于乙醇中去除PVP和PVP表层的金属，即可得到内嵌金属网格/基底。本发明在保证薄膜光学性能的同时，可最大程度地提高电学性能，其操作简单、不需要配制金属颗粒墨水和掩膜，对设备无特殊要求，制备成本低。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

提高金属网格边缘质量及其性能的激光扫描去除方法

当前第 / 件

一种g-C3N4/FTO复合透明导电薄膜的制备方法

同领域国内专利 · IPC: (C23C14_04)

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