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| 专利/申请号： | CN201610936805.6 | 专利名称： | 一种敏感膜气体传感器及其制备方法 |
| 申请日： | 2016-11-01 | 申请/专利权人 | 苏州科技大学 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省苏州市苏州高新区科锐路1号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | G01N27/12 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2017-01-11 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN106324046A | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 29 | 所属领域： | 传感器专利转让搜索 |
摘 要：本发明公开了一种敏感膜气体传感器及其制备方法。传感器包括内含隔离槽的单晶Si片、热氧化生长的SiO2、电介质绝缘层、导电层、悬空敏感膜和贵金属催化剂颗粒；先在单晶Si片上制作隔离槽，再沉积电介质绝缘层和导电层调控隔离槽开口宽度，最后用斜角入射沉积法在隔离槽顶部制作上/下表面均与外界气体直接接触的悬空敏感膜。本发明采用悬空敏感膜为探测元件，提高了敏感膜的利用率和传感器性能，且其制作工艺简单、重复性好，有利于传感器的小型化和批量生产，具有广阔的市场前景。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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