实用新型已授权

一种双面多工位卷绕式真空镀膜机

📄 申请号：CN202120650939.8 📄 发布日：2025/12/08

著录项目信息

申请日

2021-03-31

公开号

CN218291093U

公开日

2023-01-13

申请人

辽宁分子流科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35 , C23C14_24 , C23C14_56 , C23C14_54 ,

技术画像

所属领域

真空镀膜设备真空镀膜设备卷绕式镀膜技术表面处理装备

应用场景

材料表面改性, 光学薄膜制备, 包装材料镀膜, 电子器件镀膜, 柔性薄膜沉积

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摘要

本实用新型公开一种双面多工位卷绕式真空镀膜机，用于新能源动力电池领域中在柔性基膜上双面制备多层膜层。该真空镀膜机主要包括放卷室、真空蒸发镀膜室、磁控溅射镀膜室、收卷室、卷绕系统、真空系统；放卷室、真空蒸发镀膜室、磁控溅射镀膜室和收卷室是由室间隔板在真空镀膜机的真空室中分隔而成；磁控溅射镀膜室竖直立式排布，位于真空镀膜机的中部；真空蒸发镀膜室有2‑10个，呈层叠分两列排布于磁控溅射镀膜室的两侧，真空蒸发镀膜室内设置有蒸发装置，蒸发装置的上方设置有活动的蒸发挡板；在放卷室中设置有除静电装置。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230113

✅ 授权

一种卷绕镀膜机

当前第 / 件

一种带深冷主辊的卷绕式真空镀膜机

同领域国内专利 · IPC: (C23C14_35)

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