咨询电话:13280638997
传真:0533-3110363
邮箱:kefu@shizifang.com
著 录 项 目:
专利/申请号: | CN202120417812.1 | 专利名称: | 一种晶圆取粒机取粒装置 |
申请日: | 2021-02-25 | 申请/专利权人 | 福建鑫意通电气有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 福建省漳州市台商投资区角美镇角嵩路91号车间1 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/683分类检索 半导体专利转让搜索 |
公开/公告日: | 2021-10-22 | 转让价格: | 面议 【平台担保交易】 |
公开/公告号: | CN214466666U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要:本申请涉及一种晶圆取粒机取粒装置,涉及晶圆制备的领域,其包括工作台,所述工作台上设有支撑柱,所述支撑柱上设有安装块,所述安装块上转动连接有取粒爪,所述取粒爪上设有取粒组件,安装块上设有电机,所述电机的输出轴连接于取粒爪。本申请利用电机驱动取粒爪转动,从而使得取粒爪能够将不良晶圆从载盘移动至收纳盒中,有效提高了工作效率。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |