发明专利已授权

一种热分解薄膜制备装置

Name: 一种热分解薄膜制备装置
Brand: 重庆理工大学
SKU: 202210391449X
Availability: InStock

📄 申请号：CN202210391449.X 📄 发布日：2026/07/20

著录项目信息

申请日

2022-04-14

公开号

CN114990522B

公开日

2023-08-08

申请人

重庆理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C16_30

IPC 分类号

C23C16_30 , C23C16_455 , C23C16_46 ,

技术画像

所属领域

薄膜制备设备薄膜制备设备热分解技术薄膜材料

应用场景

半导体制造, 光伏电池, 显示器件, 光学薄膜, 传感器制造

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摘要

本发明公开了一种热分解薄膜制备装置，包括升降台和反应室，所述升降台上设喷雾模块，所述反应室内设加热模块，衬底置于该加热模块上；所述喷雾模块包括设于所述升降台上的安装底板，该安装底板上设缓冲腔，所述缓冲腔的进气口与至少一组雾化单元连通，所述缓冲腔的出气口与伸缩管连通，该伸缩管通过连接管与喷嘴连接，所述伸缩管、连接管和喷嘴伸入所述反应室内，该喷嘴位于所述衬底上方位置，所述安装底板朝向所述反应室的一侧设有向外延伸的连接支架，所述喷嘴转动连接在所述连接支架上。本装置既适合透明导电氧化物薄膜材料(单元、多元和多层膜结构)，也可用于其他适合用热分解方法制备的薄膜材料制备。

常见问题

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230808

✅ 授权

20220920

?? 实质审查的生效：

一种紧凑型雾化辅助CVD薄膜制备装置

当前第 / 件

一种雾化辅助CVD反应腔体

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