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摘 要:本发明公开了一种热分解薄膜制备装置,包括升降台和反应室,所述升降台上设喷雾模块,所述反应室内设加热模块,衬底置于该加热模块上;所述喷雾模块包括设于所述升降台上的安装底板,该安装底板上设缓冲腔,所述缓冲腔的进气口与至少一组雾化单元连通,所述缓冲腔的出气口与伸缩管连通,该伸缩管通过连接管与喷嘴连接,所述伸缩管、连接管和喷嘴伸入所述反应室内,该喷嘴位于所述衬底上方位置,所述安装底板朝向所述反应室的一侧设有向外延伸的连接支架,所述喷嘴转动连接在所述连接支架上。本装置既适合透明导电氧化物薄膜材料(单元、多元和多层膜结构),也可用于其他适合用热分解方法制备的薄膜材料制备。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202210391449.X | 专利名称: | 一种热分解薄膜制备装置 |
申请日: | 2022-04-14 | 申请/专利权人 | 重庆理工大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 重庆市巴南区红光大道69号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C16/30搜分类 塑料搜索 |
公开/公告日: | 2023-08-08 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN114990522B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |