一种雾化辅助CVD反应腔体

摘     要：本发明公开了一种雾化辅助CVD反应腔体，包括腔室，该腔室由腔室底板、腔室前盖板、腔室后盖板和反应区盖板粘接后形成，该反应区盖板设在腔室前盖板和腔室后盖板之间，反应区盖板的设置可以方便将衬底模板放置在腔室内的高温反应区，腔室底板、腔室前盖板、腔室后盖板和反应区盖板均采用石英材质制成，在对应腔室的高温反应区的下方位置设有若干热电偶，腔室的进口端与缓冲腔连通，且在靠近其进口端的位置还设有水冷装置。反应腔体是由石英材质制成的，高温反应区域是透明的，可以直接观察反应区域的细节情况，也可以便捷实现光辐射在薄膜生长区域的导入，不仅有利于探讨成膜机制、而且也是一种工艺优化的技术手段。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注